Động cơ tuyến tính siêu mỏng siêu nhỏ tần số cao để điều khiển wafer

Mô tả sản phẩm:

Phần ứng của động cơ tuyến tính chỉ bao gồm các cuộn dây mà không có nam châm, loại bỏ lực hút từ giữa các bộ phận chuyển động và cố định. Thiết kế này ngăn chặn các hiệu ứng răng cưa, đảm bảo hoạt động trơn tru. Cấu trúc nhẹ của nó cho phép hiệu suất tốc độ cao và gia tốc cao. Đặc tính lực đẩy trơn tru, đạt độ chính xác cao khi kết hợp với bộ mã hóa tuyến tính. Hành trình có thể được mở rộng tùy ý, hoạt động êm ái và không cần bảo trì. Các tính năng được nhập khẩu nhựa epoxy chân không được lấp đầy ở nhiệt độ và áp suất cao, cùng với cáp nguồn có độ linh hoạt cao. Được ứng dụng rộng rãi trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn, thiết bị kiểm tra chính xác cho ngành công nghiệp màn hình phẳng, máy cắt/khắc laser và hệ thống kiểm tra thị giác máy. Thiết kế mô-đun cho phép gia công tùy chỉnh.
Công nghệ động cơ tuyến tính là động lực cốt lõi thúc đẩy thiết bị sản xuất chất bán dẫn, đóng vai trò là bộ truyền động trực tiếp thiết yếu để đạt được vị trí tấm bán dẫn chính xác và chuyển động tốc độ cao.
Tận dụng độ chính xác cao, tốc độ, gia tốc và các đặc tính chuyển động trơn tru, động cơ tuyến tính cho phép chiết xuất tấm bán dẫn chính xác từ các hộp đựng trong hệ thống truyền tải tấm bán dẫn, đặt độ chính xác cao lên các trạm xử lý và trả lại nhanh chóng các tấm bán dẫn cho các hộp đựng sau khi xử lý.
Trong các nền tảng định vị chính xác, động cơ tuyến tính hỗ trợ và định vị chính xác các tấm bán dẫn. Các giá đỡ tấm bán dẫn phải thực hiện các chuyển động bước và quét ở cấp độ nanomet trong mặt phẳng XY để hoàn thành quá trình phơi sáng. Trong kính hiển vi và thiết bị phát hiện khuyết tật, các tấm bán dẫn cũng phải được di chuyển chính xác bên dưới các đầu dò kiểm tra.

Thông số sản phẩm: