Động cơ cuộn dây giọng nói tuyến tính độ chính xác phản hồi cao cho điều khiển chuyển động vi mô bán dẫn

Trong các quy trình sản xuất bán dẫn như chế biến wafer, lithography, kiểm tra và đóng gói, kiểm soát vị trí vi mô đòi hỏi độ chính xác cực kỳ cao, phản ứng nhanh,và ổn định lâu dàiĐộng cơ cuộn dây giọng nói tuyến tính, có tính năng hoạt động trực tiếp và hiệu suất động học tuyệt vời, đã trở thành một giải pháp điều khiển lý tưởng cho kiểm soát dịch chuyển vi mô trong thiết bị bán dẫn.

Động cơ cuộn dây âm thanh tuyến tính tạo ra lực đẩy trực tiếp thông qua lực điện từ, cho phép không ma sát,chuyển động tuyến tính không phản ứng ngược với độ phân giải định vị ở mức micrometer hoặc thậm chí ở mức nanometerSo với các cơ chế xoay dẫn hoặc servo truyền thống, động cơ cuộn dây giọng nói tuyến tính cung cấp độ chính xác vị trí và khả năng lặp lại vượt trội trong phạm vi đột quỵ ngắn.Chúng đặc biệt phù hợp với việc sắp xếp wafer, lấy nét quang học, kiểm soát tiếp xúc thăm dò và các giai đoạn định vị chính xác.

Trong quét tốc độ cao và ứng dụng bù đắp động, động cơ cuộn dây giọng nói tuyến tính cung cấp tăng tốc cao và phản ứng tần số cao,cho phép theo dõi chính xác các lệnh điều khiển và bù đắp hiệu quả cho các lỗi hệ thống và rối loạn môi trườngDi chuyển trơn tru, rung động thấp của chúng giúp giảm thiểu sự xáo trộn trong quá trình chế tạo cấu trúc vi mô và đảm bảo hiệu suất quá trình ổn định.