Động cơ cuộn cuộn giọng quay tần số cao sử dụng cho bao bì chip

Là một thành phần năng lượng truyền động trực tiếp chính xác cao, động cơ cuộn dây quay có vai trò quan trọng trong hiệu chuẩn góc wafer trong quá trình sắp xếp và định vị wafer,Nhờ lợi thế cốt lõi của nó ± 0.01° lặp lại xoay, tốc độ phản hồi ở mức độ millisecond, hoạt động không có bánh răng và mòn thấp.lệch góc wafer ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác của các quy trình tiếp theoĐộng cơ cuộn dây quay có thể nhanh chóng điều khiển giai đoạn wafer để thực hiện điều chỉnh xoay góc mỏng dựa trên phản hồi từ hệ thống định vị tầm nhìn,với thời gian phản hồi dưới 10ms, đảm bảo sự liên kết chính xác của wafer với mặt nạ lithography và đường đi khắc. Nó cung cấp độ chính xác lặp lại trong vòng ± 0,1 °,hoàn toàn đáp ứng các yêu cầu sắp xếp chính xác cao cho các wafer siêu mỏng và hình dạng không đềuNgoài ra, thiết kế cấu trúc nhỏ gọn của nó cho phép tích hợp vào không gian thiết bị hạn chế và phù hợp với các yêu cầu thiết kế tích hợp của nền tảng điều chỉnh wafer.