Động cơ cuộn dây hình trụ có độ chính xác cao 44N cho thiết bị bán dẫn

Tổng quan về sản phẩm

VCAR0044-0075-00A là động cơ cuộn dây âm thanh hình trụ được thiết kế đặc biệt để đạt được độ chính xác định vị cao. Được cấp nguồn bằng nguồn điện DC 16,8V, động cơ cuộn dây giọng nói này cung cấp chuyển động tuyến tính trực tiếp với lực đẩy cực đại là 44N trên hành trình 7,5mm và đạt được độ phân giải định vị 0,5um khi sử dụng trong điều khiển vòng kín với bộ mã hóa tuyến tính.
Thiết kế cuộn dây chuyển động không tiếp xúc giúp loại bỏ phản ứng ngược, hiện tượng tắc nghẽn và hiện tượng trễ, cho phép động cơ giữ nguyên vị trí và liên tục quay trở lại cùng một vị trí. Đường chuyển động ngắn, cứng và khối lượng chuyển động thấp mang lại cho hệ thống băng thông cơ học cao, giúp vòng lặp servo triệt tiêu nhiễu loạn và ổn định nhanh chóng.
Động cơ cuộn dây bằng giọng nói này được sản xuất bằng cách sử dụng các bộ phận nối đất chính xác và mạch từ cân bằng để duy trì gợn sóng lực thấp. Bề mặt ray dẫn hướng nối đất chính xác và nam châm phù hợp giữ cho lực gợn sóng dưới 1% giá trị đầu ra định mức trong toàn bộ hành trình. Nó là một thành phần lý tưởng cho thiết bị đo lường, kiểm tra hoặc căn chỉnh ở cấp độ micromet.

Giải pháp

Lỗi định vị trong thiết bị chính xác thường xuất phát từ phản ứng ngược, ma sát trượt, trôi nhiệt và cộng hưởng cơ học. Động cơ cuộn dây âm thanh loại bỏ hoàn toàn hai nguồn lỗi đầu tiên: không có bánh răng hoặc vít dẫn nào gây phản ứng ngược và thiết kế cuộn dây không tiếp xúc nghĩa là không cần khắc phục ma sát tĩnh. Các lỗi còn lại được kiểm soát thông qua hệ thống vòng kín kết hợp bộ mã hóa tuyến tính có độ phân giải cao, cung cấp phản hồi trực tiếp về vị trí thực tế của tải.
Vì lực tỷ lệ thuận với dòng điện nên hệ thống servo có thể tác dụng chính xác lượng lực phù hợp để đạt được chuyển động bước 0,5 micromet hoặc duy trì vị trí ổn định khi có tải. Kết quả là một trục chuyển động có độ chính xác ở mức micromet, không bị trôi do mài mòn và có hiệu suất ổn định qua hàng triệu chu kỳ.
Vì không có ma sát nên hiệu ứng dính trượt—một nguyên nhân phổ biến gây ra hiện tượng giật hình ở các chặng truyền thống—không xảy ra ngay cả ở tốc độ cực thấp. Đối với các ứng dụng căn chỉnh, kiểm tra và gia công, giải pháp này giúp tăng công suất đồng thời giảm phế liệu và làm lại.

Thông số kỹ thuật

Ứng dụng

Các ứng dụng điển hình: Chúng bao gồm căn chỉnh tấm bán dẫn, căn chỉnh quang tử và sợi, định vị đầu xử lý laser, lấy nét trục Z trong kính hiển vi, bệ đo chính xác, kiểm tra mặt nạ và định vị thiết bị y tế.
Thiết bị truyền động cuộn dây bằng giọng nói này cũng được sử dụng trong hệ thống lấy nét tự động cho máy ảnh công nghiệp và điều khiển van chính xác trong các thiết bị phân tích. Bất kỳ tác vụ chuyển động hành trình ngắn nào yêu cầu độ phân giải dưới micromet và khả năng giữ vị trí ổn định đều có thể được hưởng lợi từ bộ truyền động này.

Câu hỏi thường gặp

Hỏi: Làm thế nào để đạt được độ phân giải 0,5um?
Trả lời: Độ phân giải đến từ sự kết hợp giữa động cơ cuộn dây giọng nói không ma sát và bộ mã hóa tuyến tính có độ phân giải cao trong một vòng servo khép kín. Bộ mã hóa đo vị trí tải thực và lực đầu ra trơn tru của động cơ cho phép di chuyển một bước 0,5um.

Hỏi: Những yếu tố nào ảnh hưởng đến độ lặp lại?
Đáp: Khả năng lặp lại phụ thuộc chủ yếu vào chất lượng bộ mã hóa, điều chỉnh servo và độ ổn định nhiệt. Thiết kế không tiếp xúc giúp loại bỏ ma sát và mài mòn, nhờ đó độ lặp lại cơ học luôn ổn định trong suốt vòng đời của động cơ. Hiệu chuẩn bộ mã hóa thường xuyên là cách bảo trì định kỳ duy nhất được khuyến nghị.

Q: Động cơ có thể giữ nguyên vị trí khi được cấp nguồn không?
Đ: Vâng. Trong một vòng kín, servo có thể giữ cuộn dây ở bất kỳ vị trí nào trong hành trình bằng cách cân bằng lực với tải. Hầu hết các ứng dụng tĩnh không cần phải có phanh giữ.

Hỏi: Tôi có thể nhận được tùy chọn đột quỵ hoặc bộ mã hóa tùy chỉnh không?
Đ: Vâng. SUPT MOTION có thể điều chỉnh hành trình, lực, điện áp và loại bộ mã hóa. Liên hệ với chúng tôi với mục tiêu chính xác và hồ sơ chuyển động của bạn để có đề xuất phù hợp.